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KLA科磊安捷伦NanoFlip纳米压痕仪纳米压痕仪

 

KLA科磊安捷伦NanoFlip纳米压痕仪纳米压痕仪可在真空和气氛条件下，准确、精密地进行硬度、模量、屈服强度、刚度和其它纳米力学性能的测试。无论在扫描电子显微镜(SEM)或是聚焦离子束(FIB)系统中，NanoFlip均可出色完成微柱压缩等测试，并将SEM图像与力学测试数据同步。NanoFlip是一款紧凑、灵活的原位纳米力学测试仪，其测试速度快，这对于在惰性条件下（例如手套箱中）测试非均质材料至关重要。基于InForce 50电磁力作动器等多种可用功能选项，可获取定量结果，为材料研究提供有价值的解决方案。

KLA 安捷伦NanoFlip纳米压痕仪纳米压痕仪配备高精度的XYZ移动马达，以定位样品进行测试，并配备翻转机构，以定位样品进行观察成像。InView软件标配一套包括多种测试协议的测试方法，且支持用户创建自己独特的测试方法。InForce 50作动器在真空和气氛条件下表现同样出色。InView 软件可以记录SEM或其它显微镜图像，并与力学测试数据同步。革命性的FIB-to-Test技术容许将样品倾斜90°，实现从FIB到压痕测试的无缝转换，而无需重新安装样品。

 

产品特色

InForce 50作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换

InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数*快为20µs

XYZ运动系统实现样品定位

SEM视频采集实现SEM图像和力学测试数据同步

独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准

InView设备控制和数据处理软件，与Windows®10兼容，可选测试方法开发工具，实现用户自定义实验

 

产品应用

硬度和模量测试（基于Oliver-Pharr模型）

连续刚度测量

快速材料力学性能成像

ISO 14577硬度测试

纳米动态力学分析(DMA)

定量划痕和磨损测试

 

适用行业

大学、科研实验室和研究所

微柱和微球制造

MEMS：微机电系统

材料制造（压缩/拉伸/断裂测试）

电池和组件制造

 

硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）

KLA 安捷伦NanoFlip纳米压痕仪纳米压痕仪可测量从超软凝胶到硬质涂层的各类材料的硬度和模量。对这些性能进行高通量的评估，可以为产线提供可靠的质量管理。

 

连续刚度测量(CSM)

连续刚度测量用于量化测定动态材料特性，例如应变速率效应和频率相关特性。NanoFlip纳米压痕仪提供从0.1Hz到1kHz的动态激励，可实时监测数据，以准确确定初始表面接触并连续测量接触刚度随深度或频率的变化。

 

快速材料力学性能成像

对于复合材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。NanoFlip样品台在X和Y方向上行程可达21mm，Z方向马达行程可达25mm，可以实现不同区域、不同高度样品的测试。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。

 

ISO 14577硬度测试

NanoFlip纳米压痕仪标配包含ISO 14577测试方法，可以依照ISO 14577标准测量材料硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、仪器化压入硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。

 

纳米动态力学分析(DMA)

聚合物是极为复杂的材料。为了获取对聚合物设计有用的信息，应在相应的条件下对相应的样品进行力学性能测试。纳米压痕测试所需样品尺寸小、制备要求简单，更易于实现这种特异性的测量。NanoFlip纳米压痕仪还可在压头与材料接触时振荡压头，实现聚合物复模量和粘弹性的测量。

 

定量划痕和磨损测试

NanoFlip可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光(CMP)和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。